隨著晶圓技術(shù)發(fā)展到更小的線寬,準確控制液體流量對于獲得高產(chǎn)量變得越來越重要;在這些關(guān)鍵過程中,流量的控制和管理必須依賴于流體輸送和分配系統(tǒng),這些系統(tǒng)始終提供準確性 - 以保持過程完整性并更大限度地減少廢料。
蠕動泵在完全封閉的系統(tǒng)中提供卓越的流速穩(wěn)定性和計量精度,實現(xiàn)沒有污染的流量控制。流動僅與一個不間斷長度的Style 100 SC高彈性硅復(fù)合泵管元件內(nèi)部接觸,提供平滑,無縫的流動,以防止?jié){料顆粒聚集,從而導致劃痕缺陷和降低產(chǎn)量。
泵提供非常低的剪切力,避免損壞漿料聚合物鏈,這會對去除率,拋光均勻性,劃痕密度或深度產(chǎn)生負面影響。在CMP和其他關(guān)鍵應(yīng)用中,泵故障是不可接受的,因為它會導致晶片損壞和高廢品率。
免維護無刷電機驅(qū)動器,適用于連續(xù)工作和滾子和滾珠軸承泵頭結(jié)構(gòu),可生產(chǎn)高度可靠和強大的泵。該泵尺寸小,適用于有限空間的晶圓廠安裝,許多型號包括帶微處理器控制校準的數(shù)字驅(qū)動器,以及密封沖洗外殼中的LCD顯示器。